微细超声工作台是微细超声加工机床与微细超声振动辅助加工机床的关键零部件,其振幅值直接影响加工精度与加工效率。传统的振幅测量方法很难准确的测出微细超声工作台的微振幅。基于精密微三维运动平台的高分辨率,提出了一种恒力控制的微振幅测量方法,成功的测量出能精确到0.1μm的微振幅。首先对微细超声工作台中的微细超声振动系统进行了理论设计,然后采用基于恒力控制的超声振幅测量方法,对不同功率作用下的微细超声振动系统的振幅值进行了测量。、光波干涉原理，激光多普勒效应等进行测量［14］。物理观察法只适合于大振幅的测量，光学法测试设备对环境的要求高。本文采用基于恒力控制的超声振幅测量方法，是一种将电测法与运动控制结合起来，结合精密微三维运动平台的高分辨率，可以精确的测量出微超声工作台的微振幅。1理论设计微细超声加工或微细超声辅助加工中，所需的振幅值很小，  本文由弯管机网站采集网络资源整理! http://www.wanguanjixie.com   一般压电陶瓷片产生的微细振幅就能满足加工需求，不需要变幅杆对振幅进行放大。微细超声振动系统包括前匹配块、压电陶瓷片、电极片、后匹配块与预应力螺栓，如图1所示。进行理论设计时，忽略预应力螺栓与电极片，气动力特性模拟-数控弯管机张家港液压弯管机价格低全自动弯管机多少钱微细超声振动系统的等效设计如图2所示，整个振动系统为λ/2，节面设计在前匹配块与压电陶瓷片接触面。对于节面的后面部分，其频率方程为:tank1l1tank2l2=Z2Z1(1)式中Z1、Z2、k1、k2、l1、l2分别是换能器中相应部分的波阻抗、波数及长度。Z1=ρ1c1S1，Z2=ρ2c2S2，k1=ω/c1，k2=ω/c2。对于前匹配块部分，其长度为:l3=λ3/4(2)微细超声振动系统中，主要部分的材料参数如表1所示。压电陶瓷片的外径D2=30mm，换能器采用两片压电陶瓷片，压电陶瓷片的厚度l21、光波干涉原理，激光多普勒效应等进行测量［14］。物理观察法只适合于大振幅的测量，光学法测试设备对环境的要求高。本文采用基于恒力控制的超声振幅测量方法，是一种将电测法与运动控制结合起来，结合精密微三维运动平台的高分辨率，可以精确的测量出微超声工作台的微振幅。1理论设计微细超声加工或微细超声辅助加工中，所需的振幅值很小，一般压电陶瓷片产生的微细振幅就能满足加工需求，不需要变幅杆对振幅进行放大。微细超声振动系统包括前匹配块、压电陶瓷片、电极片、后匹配块与预应力螺栓，如图1所示。进行理论设计时，忽略预应力螺栓与电极片，微细超声振动系统的等效设计如图2所示，整个振动系统为λ/2，节面设计在前匹配块与压电陶瓷片接触面。对于节面的后面部分，其频率方程为:tank1l1tank2l2=Z2Z1(1)式中Z1、Z2、k1、k2、l1、l2分别是换能器中相应部分的波阻抗、波数及长度。Z1=ρ1c1S1，Z2=ρ2c2S2，k1=ω/c1，k2=ω/c2。对于前匹配块部分，其长度为:l3=λ3/4(2)微细超声振动系统中，主要部分的材料参数如表1所示。压电陶瓷片的外径D2=30mm，换能器采用两片压电陶瓷片，压电陶瓷片的厚度l21并给出了轴向碰摩的特征。另外研究了由于轴承性能，机身结构及轴向碰摩耦合作用引起的高速透平发电机自动降速现象的原因，为类似故障的判别与诊断提供了试验依据。1试验台及测试系统图1为试验设备的总体布置图，除高速透平发电机外，还包括供气系统、控制系统及数据采集与分析系统。其中高速透平发电机采用气体静压径向－止推联合轴承支承的双止推面、四磁盘结构的轴承－转子系统，透平轮、压气机轮及磁盘同轴结构，在两磁盘之间固定线圈，通过磁盘旋转切割磁感线来实现发电功能并向外界供冷、供热。图1试验设备总体布置图F气动力特性模拟-数控弯管机张家港液压弯管机价格低全自动弯管机多少钱i供气系统能够向透平发电机提供高压常温空气，其动力源为一台气流量范围在0～1500Nm3/h的空气压缩机。在供气管路上，布置有控制阀门(包括开关球阀、稳压阀调节阀及紧急切断阀)、流量计、温度传感器及压力传感器。供气系统分为驱动涡轮的主路气供气部分及轴承气供气部分。控制系统能够对试验过程进行远程控制，远程操作主气路及轴承气路阀门开度，控制升速，并能实时记录供气系统的流量、压力、温度等参数。数据采集及分析系统通过在压气机及涡轮端尾部布置电涡流位移传感器，能够实时监测、采集实验过程中产生的振动数据，并应用DASP振动分析软件，实时显示转子运行过程中的轴心轨迹、时域及频域波形图等。2自动降速机理分析本文的研究对象为高速透平发电机的自动降速故障，即在输入流量不减少的前提下，转子转速出现下降，并伴随周期性的上升、下降现象。由图1中试验台本体部分可以看出，轴承转子系统从左到右分别为压气机轮、磁盘、轴承、两个止推面、轴承、磁盘与透平轮，而图2为轴承转子系统在高速透平发电机设备中的布置图。图2轴气动力特性模拟-数控弯管机张家港液压弯管机价格低全自动弯管机多少钱  本文由弯管机网站采集网络资源整理! http://www.wanguanjixie.com