“激光—全息光栅小孔传感器中的关键技术研究(02120001500)”的资助,对利用单二维光栅与单光源的平面微位移测量方法以及测量系统进行了系统地研究,这种方法为解决小空间平面微位移测量提供了一种切实可行的办法,单光源和单二维平面光栅组成的测量系统在应用中易于定位,对测量环境要求相对不高,同时这种测量系统输出方波或者脉冲信号可以用来对平面位置的实时控制,为现代工业技术中精确定位提供一种紧凑的测量系统。 本论文主要对二维平面光栅在平面位移测量系统及其关键技术进行了理论和实验研究,论文的主要内容和工作包括: (1)对单平面二维光栅测量平面位移的理论进行研究。本文由弯管机网站采集网络资源整理! http://www.wanguanjixie.com  分析了二维平面光栅衍射场的分布规律,推导了测量系统-数控电动弯管机价格低张家港全自动弯管机滚圆机多少钱二维光栅方程;基于波动光学、多普勒分析以及傅立叶光学的方法推导了二维光栅平面微位移测量的基本原理;并对二维光栅测量系统中主要光学元件对测量信号的影响进行了理论分析。 (2)基于平面二维光栅微位移测量理论的分析,研制了具有纳米分辨率的平面二维光栅实验测量系统。结合二维光栅测量系统的特点,为获得质量较好的莫尔条纹信号,降低测量系统对光栅平面运动误差的敏感性,增强系统适应性,对二维平面光栅测量系统的检测光路和光电接收电路进行实验分析,并在基于对二维光栅测量系统分析的基础上进行了实验研究。 (3)对平面二维光栅测量系统的信号处理方法进行了研究,提出基于BP神经网络的光栅信号细分方法。这种测量方法针对二维光栅测量信号的特点,这种细分方法对信号的调整精度降低了要求,当测量系统改变时,可以实现细分模型的软件自动化处理。BP神经 测量系统-数控电动弯管机价格低张家港全自动弯管机滚圆机多少钱本文由弯管机网站采集网络资源整理! http://www.wanguanjixie.com